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申请/专利权人：长春中科长光时空光电技术有限公司;江苏长光时空光电技术有限公司
摘要：本发明涉及半导体激光器技术领域，尤其涉及一种窄线宽聚合物分散液晶可调谐VCSEL及其制备方法，包括VCSEL外延结构和生长在VCSEL外延结构的表面的液晶外腔层；液晶外腔层包括用于改变激光的衍射角的楔形间隔层和用于扩大激光的调谐范围液晶表面光栅，以及紧贴在液晶表面光栅的P掺杂介质膜可有效提升扩大激光的调谐范围后的谐振腔的反射率；液晶外腔层使激光器光束偏转方向可调的同时实现光束质量的优化，压窄线宽，利用液晶的双折射率使得激光器波长连续可调谐，同时中间薄的液晶薄膜可以减小对基模的影响，提升基模功率。
主权项：1.一种窄线宽聚合物分散液晶可调谐VCSEL，其特征在于，包括VCSEL外延结构和生长在所述VCSEL外延结构的表面的液晶外腔层；其中，所述液晶外腔层包括：楔形间隔层，紧贴于所述VCSEL外延结构的表面，且所述楔形间隔层的倾斜角度为5°~45°；液晶表面光栅，紧贴于所述楔形间隔层的表面；P掺杂介质膜，紧贴于所述液晶表面光栅的液晶凹槽上；ITO导电薄膜，紧贴于所述P掺杂介质膜的表面；液晶调节电极，紧贴于所述ITO导电薄膜的表面，用于作为液晶调谐的正极。
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百度查询： 长春中科长光时空光电技术有限公司 江苏长光时空光电技术有限公司 窄线宽聚合物分散液晶可调谐VCSEL及其制备方法
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