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申请/专利权人：拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司
摘要：本实用新型提供了一种光学对准装置。所述光学对准装置包括第一相机、第二相机、红外光源及显微物镜。所述第一相机经由第一半反半透镜对准显微物镜的第一端。所述第二相机经由第一反射镜及所述第一半反半透镜对准所述显微物镜的第一端。所述红外光源用于向所述显微物镜的第二端提供穿透待对准的第一样本和或第二样本的红外光线。所述显微物镜的第二端朝向所述第一样本及所述第二样本，在第一时刻聚焦到所述第一样本，以供所述第一相机及所述第二相机中的一者采集所述第一样本的第一图像，并在第二时刻聚焦到所述第二样本，以供所述第一相机及所述第二相机中的另一者采集所述第二样本的第二图像。
主权项：1.一种光学对准装置，其特征在于，包括：第一相机，经由第一半反半透镜对准显微物镜的第一端；第二相机，经由第一反射镜及所述第一半反半透镜对准所述显微物镜的第一端；红外光源，用于向所述显微物镜的第二端提供穿透待对准的第一样本和或第二样本的红外光线；以及所述显微物镜，其第二端朝向所述第一样本及所述第二样本，在第一时刻聚焦到所述第一样本，以供所述第一相机及所述第二相机中的一者采集所述第一样本的第一图像，并在第二时刻聚焦到所述第二样本，以供所述第一相机及所述第二相机中的另一者采集所述第二样本的第二图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司 一种光学对准装置
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