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申请/专利权人：福建金石能源有限公司
摘要：本实用新型公开了一种兼容侧装与吊装的孪生溅射源系统，主要由端头、布气盒、观察窗三部分组成，所述端头包括靶材、防镀遮罩、固定板、腔室墙板、尾座支架、尾座、固定座、第一密封绝缘挡圈、轴承绝缘套、第二密封绝缘挡圈；所述布气盒由匀气盒装置、匀气遮罩、匀气控制装置组成；所述观察窗由观察通道、观察通道固定架、观察控制装置组成。本实用新型采用模块式结构设计，可根据实际生产工艺需要来放置所需的溅射源系统，不仅更换方便，而且还可以减少真空设备的漏点，可以兼容侧装与吊装两种不同的安装方式，可以兼容多种类型的真空镀膜设备，设备适用性高。
主权项：1.一种兼容侧装与吊装的孪生溅射源系统，其特征在于：主要由端头A、布气盒B、观察窗C三部分组成，所述端头包括靶材A1、防镀遮罩A2、固定板A3、腔室墙板A4、尾座支架A5、尾座A6、固定座A7、第一密封绝缘挡圈A8、轴承绝缘套A9、第二密封绝缘挡圈A10，所述靶材A1固定在旋转轴A11上，靶材A1四周设有防镀遮罩A2将镀膜区域与真空腔室隔离开，所述防镀遮罩A2开口方向调节成与基材镀膜位置相近，所述轴承绝缘套A9通过轴承固定在旋转轴A11上，并在左右两端用第一密封绝缘挡圈A8和第二密封绝缘挡圈A10进行绝缘密封；所述布气盒由匀气盒装置B1、匀气遮罩B2、匀气控制装置B3组成，所述匀气遮罩B2安装在匀气盒装置B1外表面；所述观察窗由观察通道C1、观察通道固定架C2、观察控制装置C3组成，所述观察通道C1通过观察通道固定架C2固定在固定座A7上，所述观察控制装置C3固定在固定板A3上。
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百度查询： 福建金石能源有限公司 一种兼容侧装与吊装的孪生溅射源系统
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