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加热装置保护罩及沉积设备 

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申请/专利权人:楚赟精工科技(上海)有限公司

摘要:本实用新型提供了一种加热装置保护罩及沉积设备,包括:罩体,包括顺次密封连接罩顶和筒体;内管,自罩体顶面起贯穿罩体并朝向罩体底部延伸,内管顶面边缘与罩体顶面密封连接,形成容纳加热装置的空腔;结构加强管,包括套设于内管外侧壁并朝向罩顶底面延伸并相贴合的异型管;异型管的至少部分外侧壁呈内凹弧面,且径向壁厚沿指向罩顶的方向增加。本实用新型提供的加热装置保护罩以及沉积设备中的结构加强管包括套设于内管外侧壁并朝向罩顶底面延伸并相贴合的异型管,异型管的至少部分外侧壁呈内凹弧面,且径向壁厚沿指向罩顶的方向增加,大大提高了保护罩结构的强度,增加了保护罩承受应力的能力,降低了保护罩出现碎裂风险的可能性。

主权项:1.一种加热装置保护罩,其特征在于,包括:罩体,包括顺次密封连接罩顶和筒体;内管,自所述罩体顶面起贯穿所述罩体并朝向所述罩体底部延伸,所述内管顶面边缘与所述罩体顶面密封连接,形成容纳加热装置的空腔;结构加强管,包括套设于所述内管外侧壁并朝向所述罩顶底面延伸并相贴合的异型管;所述异型管的至少部分外侧壁呈内凹弧面,且径向壁厚沿指向所述罩顶的方向增加。

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权利要求:

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