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申请/专利权人：鑫思维(天津)智能科技有限公司
摘要：本实用新型涉及划片机技术领域，具体为一种微电子制造用划片机，包括划片机，划片机包括水箱，水箱的顶部设置有机体，机体的一侧设置有控制面板，机体上设置有切割腔，切割腔的一侧固定安装有进气机构，切割腔远离进气机构的一侧固定安装有抽气机构；切割腔包括框架，框架的顶部设置有观察窗。本实用新型的优点在于：该微电子制造用划片机，通过设置抽气机构，在对晶圆进行划切时，将切割腔中的雾气抽走，避免切割腔中的雾气阻碍视线，影响操作人员对切割腔内部情况的观察，雾气顺着连接管中的气流进入到水箱中，避免雾气扩散至传动机构及电气元件处，导致精度下降、并可能会造成电气元件短路或烧毁等风险的情况发生。
主权项：1.一种微电子制造用划片机，其特征在于：包括划片机1，所述划片机1包括水箱11，所述水箱11的顶部设置有机体12，所述机体12的一侧设置有控制面板13，所述机体12上设置有切割腔14，所述切割腔14的一侧固定安装有进气机构2，所述切割腔14远离所述进气机构2的一侧固定安装有抽气机构3；所述切割腔14包括框架141，所述框架141的顶部设置有观察窗142，所述框架141的一侧设置有侧门143，所述框架141的内部设置有风刀144，所述框架141的一侧开设有第一连接口145，所述框架141远离所述第一连接口145的一侧开设有第二连接口146；所述抽气机构3包括风机301，所述风机301的输出端设置有连接管302，所述连接管302远离所述风机301的一端设置有法兰盘303，所述连接管302上固定连接有抽气管304，所述抽气管304远离所述连接管302的一端固定连接有连接罩305。
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权利要求：
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