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申请/专利权人：内蒙古鑫环硅能科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅生产装置，该多晶硅生产装置包括氢气缓存罐，所述氢气缓存罐用于对来自制氢装置的氢气以及多晶硅生产中的去除硅粉的还原氢气进行缓存。该多晶硅生产装置还包括氢气泄压管路、氢气补给管路和液氢储罐，所述氢气泄压管路连通所述氢气缓存罐和所述液氢储罐。所述氢气补给管路连通氢气缓存罐和所述液氢储罐。沿从所述氢气缓存罐流向所述液氢储罐的方向，所述氢气泄压管路上依次设置有第三缓冲罐、第二压缩机和氢气液化撬块。所述氢气补给管路上设置有液氢汽化器。
主权项：1.一种多晶硅生产装置，包括氢气缓存罐1，所述氢气缓存罐1用于对来自制氢装置20的氢气以及多晶硅生产中的去除硅粉的还原氢气进行缓存，其特征在于，该多晶硅生产装置还包括氢气泄压管路18、氢气补给管路19和液氢储罐13，所述氢气泄压管路18连通所述氢气缓存罐1和所述液氢储罐13；所述氢气补给管路19连通氢气缓存罐1和所述液氢储罐13；沿从所述氢气缓存罐1流向所述液氢储罐13的方向，所述氢气泄压管路18上依次设置有第三缓冲罐10、第二压缩机11和氢气液化撬块12；所述氢气补给管路19上设置有液氢汽化器14。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古鑫环硅能科技有限公司 一种多晶硅生产装置
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