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申请/专利权人：苏州奕赫光电子科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种钙钛矿电光调制器结构，包括两种结构，第一种结构类似常规的马赫‑曾德调制器，但是将波导替换为钙钛矿波导。通过左右电极对波导施加电场调制，进而改变入射光相位；第二种结构仍然采用常规的硅波导，但是在入射臂设置一定宽度的间隙。在该间隙中插入钙钛矿膜层，通过钙钛矿膜层的前后电极输入调制电信号，进而调制入射光的相位延迟。本实用新型利用钙钛矿单晶或者多晶的载流子色散特性调控材料的折射率，进而调制入射光的相位。采用这种钙钛矿电光调制器不仅具有较小的半波电压和电压长度积，由于钙钛矿材料制备工艺简单，所以这种钙钛矿电光调制器还有成本低廉的优点。
主权项：1.一种钙钛矿电光调制器结构，其特征在于：包括衬底，所述衬底上设置一个调制臂和一个参考臂；所述调制臂和参考臂皆为钙钛矿波导；在所述调制臂钙钛矿波导两个侧边分别设置左电极、右电极；通过左电极、右电极输入调制电压信号，在钙钛矿波导中产生相应的电场分布，进而对入射光的相位调制，形成输出光的强度变化；或者所述调制臂和参考臂皆为钙钛矿波导；在所述调制臂硅波导上设置宽度为数百微米的间隙；在透明的衬底上沉积钙钛矿厚膜，并在其前后两端分别设置透光前电极、透光后电极，形成钙钛矿膜相位调制层；将钙钛矿膜相位调制层插入硅波导间隙，通过透光前电极、透光后电极施加偏置电压，调制入射光穿过钙钛矿厚膜的相位延迟。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州奕赫光电子科技有限公司 一种钙钛矿电光调制器结构
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