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一种PVD镀膜工件夹持工装 

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申请/专利权人:深圳江海行纳米科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种PVD镀膜工件夹持工装,包括工装底座、托架、托盘、压架和压盘,所述托架皆设置在工装底座的上方,所述托盘皆固定在托架的顶端,所述托架顶端的中心位置处固定有支撑柱,所述压架套装在支撑柱的外部,所述压盘皆固定在压架的顶端,所述压架顶端的中心位置处固定有定位套,且所述定位套的内壁上设置有定位环槽,所述压架上方的支撑柱外壁上套装有螺纹套,所述工装底座的底部安装有旋转驱动件,且所述旋转驱动件的输出端固定有转盘,并且所述转盘顶端的中心位置处固定有转柱。本实用新型不仅操作方便、快捷,耗时短,工作效率高,提高了工件转动时的平稳性,而且便于组装拆卸,使用灵活方便。

主权项:1.一种PVD镀膜工件夹持工装,其特征在于,包括工装底座1、托架2、托盘3、压架4和压盘5,所述托架2皆设置在工装底座1的上方,所述托盘3皆固定在托架2的顶端,所述托架2顶端的中心位置处固定有支撑柱6,且所述支撑柱6的外壁上皆设置有等间距的外螺纹条7,所述压架4套装在支撑柱6的外部,所述压盘5皆固定在压架4的顶端,压盘5与托盘3一一对应,所述压架4顶端的中心位置处固定有定位套8,且所述定位套8的内壁上设置有定位环槽9,所述压架4上方的支撑柱6外壁上套装有螺纹套10,螺纹套10与外螺纹条7螺纹啮合,所述工装底座1的底部安装有旋转驱动件17,且所述旋转驱动件17的输出端固定有转盘20,并且所述转盘20顶端的中心位置处固定有转柱21。

全文数据:

权利要求:

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