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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：在本发明的基板处理装置、基板处理系统及它们的支撑销的配置更换方法中，多个支撑销装卸自如地安装于第一板的上表面，并且第一板通过磁力而能够装卸地与设置于腔室内部空间内的第二板结合。通过将第一板向上方提起而将与第二板的结合解除，将第一板从腔室搬出至外部，在腔室外变更安装于第一板的支撑销的配置，将第一板放回至腔室内并与第二板结合，由此实现支撑销的配置更换。能够以优异的作业性进行支撑销的配置更换。
主权项：1.一种基板处理装置，包括：腔室，具有能够收容基板的内部空间，且所述内部空间被减压；第一板，配置于所述内部空间内，用于对所述基板进行支撑的多个支撑销装卸自如地安装于上表面；第二板，在所述内部空间内与所述第一板的下表面抵接而对所述第一板进行支撑；以及结合部，通过磁力而能够装卸地将所述第一板与所述第二板结合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置、基板处理系统及支撑销的配置更换方法
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