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申请/专利权人:费勉仪器科技(上海)有限公司
摘要:本公开涉及等离子体源领域,公开了一种微波传导装置、微波源、离子发生装置以及真空处理系统。微波传导装置包括微波传输器和微波馈入结构。微波传输器包括谐振腔和天线。天线与谐振腔连接。微波馈入结构设置在谐振腔的远端,且包覆谐振腔外侧的至少一部分,微波馈入结构用于馈送来自微波传输器的微波。
主权项:1.一种微波传导装置,其特征在于,包括:微波传输器,包括:谐振腔;天线,与所述谐振腔连接;微波馈入结构,设置在所述谐振腔的远端,且包覆所述谐振腔外侧的至少一部分,所述微波馈入结构用于馈送来自所述微波传输器的微波。
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百度查询: 费勉仪器科技(上海)有限公司 微波传导装置、微波源、离子发生装置以及真空处理系统
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