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一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器 

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申请/专利权人:交通运输部天津水运工程科学研究所

摘要:本发明涉及温压传感器技术领域,公开了一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,包括:感压模块、感温模块以及光纤;光纤、感压模块及感温模块同轴线;感温模块为圆柱形的温度敏感微腔,感压模块包括圆形弹性感压膜片和中空压力敏感微腔,中空压力敏感微腔用于连接圆形弹性感压膜片和温度敏感微腔;温度敏感微腔的半径小于圆形弹性感压膜片的半径,且使得反射后的光信号的耦合效率达到预设值。通过设置温度敏感微腔的半径小于圆形弹性感压膜片的半径,且使得反射后的光信号的耦合效率达到预设值,克服了同径设计对于温度灵敏性和压力灵敏性的制约,进一步提升温压传感器的测试精度和测试效能。

主权项:1.一种同轴异径混合微腔结构光纤温压传感器,其特征在于,所述光纤温压传感器包括:感压模块、感温模块以及光纤(4);所述光纤(4)将光信号依次传输到所述感温模块和所述感压模块,获得反射后的光信号;所述光纤(4)、所述感压模块及所述感温模块同轴线,且轴线方向与反射后的光信号方向重合;所述感温模块为圆柱形的温度敏感微腔(3),所述感压模块包括圆形弹性感压膜片(1)和中空压力敏感微腔(2),所述中空压力敏感微腔(2)用于连接所述圆形弹性感压膜片(1)和所述温度敏感微腔(3);其中,所述温度敏感微腔(3)的半径小于所述圆形弹性感压膜片(1)的半径,且使得所述反射后的光信号的耦合效率达到预设值。

全文数据:

权利要求:

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