龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中北大学
摘要：本发明的目的在于提供一种硅的高均匀性湿法腐蚀装置及方法，属于半导体芯片制造技术领域，所述装置包括水浴锅，所述水浴锅内设有烧杯，所述烧杯内设有用于夹持硅片的聚四氟乙烯材料制作的夹具，所述夹具包括夹持件，所述夹持件包括通过螺栓连接的上夹持件和下夹持件，所述上夹持件的顶端设有上螺杆，所述夹持件的底部设有过滤板，下夹持件与过滤板之间通过中螺杆连接，过滤板的底部设有下螺杆。通过该装置及方法，能够提升湿法腐蚀均匀性、改善湿法腐蚀形貌，通过缓解腐蚀液流速，加速生成沉淀物和气体溢出，达到提高整片晶圆深硅腐蚀均匀性同时改善形貌的效果。
主权项：1.一种硅的高均匀性湿法腐蚀装置，其特征在于：包括水浴锅（1），所述水浴锅（1）内设有烧杯（2），所述烧杯（2）内设有用于夹持硅片的聚四氟乙烯材料制作的夹具（3），所述夹具（3）包括夹持件（32），所述夹持件（32）包括通过螺栓（321）连接的上夹持件（322）和下夹持件（323），所述上夹持件（322）的顶端设有上螺杆（31），所述夹持件（32）的底部设有过滤板（34），下夹持件（323）与过滤板（34）之间通过中螺杆（33）连接，过滤板（34）的底部设有下螺杆（35）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中北大学 一种硅的高均匀性湿法腐蚀装置及方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号