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申请/专利权人:株式会社半导体能源研究所
摘要:提供一种能够实现微型化或高集成化的存储装置,包括:包括电容器及电容器上的晶体管的存储单元;电容器上的第一绝缘体;以及第一绝缘体上的第二绝缘体,晶体管包括:第一绝缘体下的第一导电体;接触于第一导电体的顶面的氧化物半导体;配置在第一绝缘体与第二绝缘体间且接触于氧化物半导体的第二导电体;氧化物半导体上的第三绝缘体;以及第三绝缘体上的第三导电体,第一绝缘体、第二导电体及第二绝缘体中形成有到达第一导电体的第一开口,氧化物半导体的至少一部分、第三绝缘体的至少一部分及第三导电体的至少一部分配置在第一开口内,电容器包括:第四导电体;第四导电体上的第四绝缘体;以及第四绝缘体上的第一导电体。
主权项:1.一种存储装置,包括:电容器;所述电容器上的晶体管;所述电容器上的第一绝缘体;以及所述第一绝缘体上的第二绝缘体,其中,所述晶体管包括:所述第一绝缘体下的第一导电体;接触于所述第一导电体的顶面的氧化物半导体;配置在所述第一绝缘体与所述第二绝缘体间且接触于所述氧化物半导体的第二导电体;所述氧化物半导体上的第三绝缘体;以及所述第三绝缘体上的第三导电体,所述第一绝缘体、所述第二导电体及所述第二绝缘体中形成有到达所述第一导电体的第一开口,所述氧化物半导体的至少一部分、所述第三绝缘体的至少一部分及所述第三导电体的至少一部分配置在所述第一开口内,并且,所述电容器包括:第四导电体;所述第四导电体上的第四绝缘体;以及所述第四绝缘体上的所述第一导电体。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 株式会社半导体能源研究所 存储装置
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