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申请/专利权人：业桓科技(成都)有限公司;业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;英特盛科技股份有限公司
摘要：本申请提供一种光学元件，包括透光基材、反射层以及至少一个透反层。透光基材包括第一面以及与所述第一面相对的第二面。反射层设置于所述第二面，所述反射层用于反射光线。至少一个透反层设置于所述反射层与所述第一面之间，所述透反层能够透射部分光线以及反射部分光线，所述透反层用于接收从所述第一面透射的入射光，所述反射层和所述透反层用于共同将从所述第一面透射的所述入射光调制为出射光，并用于将所述出射光从所述第一面投射出射。其中，所述出射光包括从所述透反层的不同位置出射的多束子出射光，每束所述子出射光的光强度互不相同。本申请还提供一种应用上述光学元件的曝光系统。
主权项：1.一种光学元件，其特征在于，包括：透光基材，包括第一面以及与所述第一面相对的第二面；反射层，设置于所述第二面，所述反射层用于反射光线；以及至少一个透反层，设置于所述反射层与所述第一面之间，所述透反层能够透射部分光线以及反射部分光线，所述反射层和所述透反层用于共同将从所述第一面透射的入射光调制为出射光，并用于将所述出射光从所述第一面投射出射；其中，所述出射光包括从所述透反层的不同位置出射的多束子出射光，每束所述子出射光的光强度互不相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 业桓科技(成都)有限公司 业成科技(成都)有限公司 业成光电(深圳)有限公司 英特盛科技股份有限公司 光学元件以及曝光系统
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