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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种系统，包括成像系统、空间滤波器和探测器。所述系统被配置成接收多个衍射阶。所述空间滤波器被配置成阻挡所述多个衍射阶中的一个或更多个不期望的衍射阶并且使所述多个衍射阶中的一个或更多个期望的衍射阶通过。所述空间滤波器包括具有在方位角上变化的依赖于角度的半径的一个或更多个遮蔽部。所述探测器被配置成接收和测量所述一个或更多个期望的衍射阶的强度。所述空间滤波器是机动化的。
主权项：1.一种系统，包括：成像系统，所述成像系统被配置成接收多个衍射阶；空间滤波器，所述空间滤波器被配置成阻挡所述多个衍射阶中的一个或更多个不期望的衍射阶并且使所述多个衍射阶中的一个或更多个期望的衍射阶通过，其中，所述空间滤波器包括具有在方位角上变化的依赖于角度的半径的一个或更多个遮蔽部；以及探测器，所述探测器被配置成接收和测量所述一个或更多个期望的衍射阶的强度。
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