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申请/专利权人：富联裕展科技(深圳)有限公司
摘要：本申请公开了一种PVD镀膜控制方法及设备，用于提高PVD镀膜的成功率。本申请中基于物料的第一加工数据和第二加工数据得到第一特征值；将第一特征值与预设第二特征值输入合格率预测模型中，得到第一合格率；若第一合格率在预设合格率范围内，则接收目标参数值；根据目标参数值调整第二加工阶段的参数；获取新的第二加工数据，基于第二加工数据得到第二合格率；若第二合格率高于预设合格率范围上限值，继续PVD镀膜；若第二合格率低于预设合格率范围下限值，结束PVD镀膜。在镀膜的过程中对物料对应的加工参数进行检测，在加工参数满足要求时才会进行PVD镀膜，在加工参数不满足要求时可以对加工参数进行调整，进而提升了PVD镀膜的合格率。
主权项：1.一种PVD镀膜控制方法，其特征在于，所述方法包括：获取物料在PVD第一加工阶段的第一加工数据和PVD第二加工阶段的第二加工数据；基于所述第一加工数据和所述第二加工数据进行特征提取处理，得到所述物料对应的第一特征值；将所述第一特征值与预设第二特征值输入预先训练好的合格率预测模型中，得到所述合格率预测模型输出的第一合格率；所述预设第二特征值是基于所述合格率预测模型预先设置输入参数；若所述第一合格率在预设合格率范围内，则接收目标参数值；根据所述目标参数值调整所述物料对应的目标机台的第二加工阶段的参数；获取调整参数后的新的第二加工数据，并基于所述第二加工数据得到第二合格率；若所述第二合格率高于所述预设合格率范围的上限值，则继续PVD镀膜；若所述第二合格率低于所述预设合格率范围的下限值，则结束PVD镀膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富联裕展科技(深圳)有限公司 一种PVD镀膜控制方法及设备
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