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申请/专利权人：昆明物理研究所
摘要：本发明公开了一种高气密无污染杜瓦真空穿刺装置，包括干泵、分子泵、全金属阀门、复合真空规、四极质谱仪、带过滤装置的全金属阀门、复合真空规、杜瓦组件及穿刺装置；干泵、分子泵、全金属阀门构成抽气系统；全金属阀门、复合真空规、四极质谱仪、带过滤装置的全金属阀门构成分析系统；带过滤装置的全金属阀门、复合真空规、杜瓦组件、穿刺装置构成穿刺系统。本发明的整个穿刺和测试过程中采用微米量级的过滤网隔离穿刺室和质谱分析室，一方面可以让气体分子缓慢释放，保证质谱仪有足够的测试时间分析杜瓦内部的气氛，设备测试能力是传统设备的10倍～100倍；另一方面还可以隔离穿刺过程中的微米量级的碎片颗粒，避免了设备遭受污染。
主权项：1.一种高气密无污染杜瓦真空穿刺装置，其特征在于：包括干泵1、分子泵2、全金属阀门3、复合真空规4、四极质谱仪5、带过滤装置的全金属阀门6、复合真空规7、杜瓦组件8及穿刺装置9；所述干泵1、分子泵2、全金属阀门3通过管路依次相连构成抽气系统；所述复合真空规4、四极质谱仪5、带过滤装置的全金属阀门6通过管路依次相连构成分析系统；所述复合真空规7、杜瓦组件8、穿刺装置9通过管路依次相连构成穿刺系统；所述全金属阀门3将所述抽气系统与分析系统相互连通，所述带过滤装置的全金属阀门6将分析系统与穿刺系统相互连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昆明物理研究所 一种高气密无污染杜瓦真空穿刺装置及气氛测试分析方法
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