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申请/专利权人：复旦大学
摘要：本发明公开了一种集成椭圆偏振光谱仪的实验型原子层沉积设备，属于原子层沉积反应设备技术领域。针对检测光束需要以最佳入射角在最佳入射位置入射以保证检测光束能够按照预定路径反射的需求，设置了升降系统和调平系统；进一步的，通过设置隔热棒，最大程度的保证了椭圆偏振光谱仪部件不受真空腔室的高温影响，而且针对可视窗在实验过程中镀上膜，会影响穿过可视窗的光束强度，从而影响检测结果，本申请设置了扫吹管路，以避免薄膜沉积过程对可视窗镀膜；基于该集成椭圆偏振光谱仪的实验型原子层沉积设备，实现了对于原子层薄膜沉积过程中的精准检测。
主权项：1.一种集成椭圆偏振光谱仪的实验型原子层沉积设备，其特征在于，所述设备包括真空腔体、前驱体源输送系统、真空系统、控制系统、小型椭圆偏振光谱仪及分析系统；所述真空腔体通过管路分别与前驱体源输送系统和真空系统相连，控制系统与前驱体源输送系统、真空系统、小型椭圆偏振光谱仪及分析系统电性相连，小型椭圆偏振光谱仪通过隔热装置与真空腔体相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 复旦大学 一种集成椭圆偏振光谱仪的实验型原子层沉积设备
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