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一种巨量转移设备、巨量转移系统以及巨量转移方法 

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申请/专利权人:京东方科技集团股份有限公司

摘要:本发明公开一种巨量转移设备、巨量转移系统以及巨量转移方法。其中一实施例的巨量转移设备包括:承载台,包括放置第一基板的中转台和设置在所述中转台一侧的固定第二基板的固定台;夹取装置,配置为将所述第一基板从所述中转台移动至所述第二基板的上方;与所述夹取装置连接的对位装置,配置为控制所述夹取装置移动从而带动所述第一基板移动,以使得所述第一基板和所述第二基板进行对位;热压装置,配置为将对位后的所述第一基板和所述第二基板进行加压和加热。本发明实施例的巨量转移设备能够避免热压过程中热压装置对对位装置的影响,并且,能够有效提高对位精度。

主权项:1.一种巨量转移设备,其特征在于,所述设备包括:承载台,包括放置第一基板的中转台和设置在所述中转台一侧的固定第二基板的固定台;夹取装置,配置为将所述第一基板从所述中转台移动至所述第二基板的上方;与所述夹取装置连接的对位装置,配置为控制所述夹取装置移动从而带动所述第一基板移动,以使得所述第一基板和所述第二基板进行对位;热压装置,配置为将对位后的所述第一基板和所述第二基板进行加压和加热。

全文数据:

权利要求:

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