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申请/专利权人：横店集团东磁股份有限公司
摘要：本发明提供了一种清洗ALD铝舟的方法，所述方法包括以下步骤：1将ALD铝舟浸入氨水中进行鼓泡超声处理；2对鼓泡超声处理后的ALD铝舟进行浸泡清洗处理；3对ALD铝舟进行热烘干处理，完成清洗，本发明所述清洗ALD铝舟的方法可以最大程度上减少对铝舟的腐蚀，并能达到洗掉铝舟表面结晶以及铝舟槽杆，拨片处的AlOx薄膜、AlOx粉末，解决了铝舟卡片造成的1.5％碎片率、产能损失以及0.5％EL卡点印，提高优质率，可以极大程度降低自洗成本。
主权项：1.一种清洗ALD铝舟的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：1将ALD铝舟浸入氨水中进行鼓泡超声处理；2对步骤1所述鼓泡超声处理后的ALD铝舟进行浸泡清洗处理；3对步骤2得到的ALD铝舟进行热烘干处理，完成清洗。
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百度查询： 横店集团东磁股份有限公司 一种清洗ALD铝舟的方法
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