龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本申请公开了一种工艺腔室、半导体工艺设备及承载装置的调节方法，涉及半导体领域。一种工艺腔室包括腔体、承载装置、第一测距装置、第二测距装置和控制装置；腔体顶部设有进气端面，承载装置通过升降机构驱动可升降地设于腔体内，承载装置设有第一通孔和盲孔，盲孔的孔底与承载面相距预设距离；第一测距装置和第二测距装置分别设于腔体，并位于承载装置背离进气端面的一侧，且两者的测距端共面；第一测距装置与第一通孔相对，测量第一平面与进气端面之间的第一距离，第二测距装置测量第一平面与盲孔的孔底间的第二距离；控制装置根据第一距离、第二距离和预设距离得到承载面与进气端面之间的实际距离。本申请至少解决反应间隔存在误差等问题。
主权项：1.一种工艺腔室，应用于半导体工艺设备，其特征在于，所述工艺腔室包括：腔体100、承载装置200、第一测距装置310、第二测距装置320和控制装置；所述腔体100的顶部设有面向所述承载装置200的进气端面121，所述承载装置200通过升降机构驱动可升降地设置于所述腔体100内，所述承载装置200设有分别沿升降方向延伸的第一通孔211和盲孔212，所述盲孔212的孔底与所述承载装置200的承载面213之间相距预设距离；所述第一测距装置310和所述第二测距装置320分别设置于所述腔体100，并位于所述承载装置200背离所述进气端面121的一侧，且所述第一测距装置310的测距端与所述第二测距装置320的测距端均位于与所述进气端面121平行的第一平面；所述第一测距装置310与所述第一通孔211相对，用于测量所述第一平面与所述进气端面121之间的第一距离，所述第二测距装置320与所述盲孔212相对，用于测量所述第一平面与所述盲孔212的孔底之间的第二距离；所述控制装置用于根据所述第一距离、所述第二距离以及所述预设距离获得所述承载面213与所述进气端面121之间的实际距离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 工艺腔室、半导体工艺设备及承载装置的调节方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号