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申请/专利权人：日本化药株式会社
摘要：本发明涉及处理液及使用所述处理液的光阻剂图案的形成方法，本发明的课题的目的在于提供一种处理液，可形成具有锐利的图案边缘的光阻图案，也就是可在无显影不足残渣或图案剥离下形成良好图案边缘。另外，处理液的稳定性也为重要课题。如上述，本发明的目的为可兼具显影性等及稳定性。本发明的解决手段为一种处理液，含有A碱性化合物、及B2种以上的非离子性界面活性剂，B成分含有B‑1聚氧乙烯基苯乙烯化苯基醚、及B‑2聚氧乙烯基异丙苯基苯基醚。
主权项：1.一种处理液，含有A碱性化合物、及B2种以上的非离子性界面活性剂，B成分含有B-1聚氧乙烯基苯乙烯化苯基醚、及B-2聚氧乙烯基异丙苯基苯基醚。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 日本化药株式会社 处理液及使用所述处理液的光阻剂图案的形成方法
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