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申请/专利权人：苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司
摘要：本发明提供一种检测系统和检测方法，检测系统包括：分束器；位于分束器第一侧的半导体激光器，半导体激光器适于输出激光束；位于半导体激光器至分束器的光路中依次排布的准直组件、第一光阑和第二光阑；位于分束器第二侧的反射镜组，反射镜组包括反射镜；位于分束器第三侧的光束分析仪；聚焦镜，位于光束分析仪和分束器之间；挡板开关，用于位于反射镜组和分束器之间；分束器用于透射部分激光束至光束分析仪、并在挡板开关打开时反射部分激光束至反射镜；反射镜用于在挡板开关打开时反射激光束沿原光路返回至半导体激光器。检测系统对半导体激光器的可靠性进行精确检测。
主权项：1.一种检测系统，其特征在于，包括：分束器；位于所述分束器第一侧的半导体激光器，半导体激光器适于输出激光束；位于所述半导体激光器至所述分束器的光路中依次排布的准直组件、第一光阑和第二光阑；位于所述分束器第二侧的反射镜组，所述反射镜组包括反射镜；位于所述分束器第三侧的光束分析仪；聚焦镜，位于所述光束分析仪和所述分束器之间；挡板开关，用于位于所述反射镜组和所述分束器之间；其中，所述分束器用于透射部分所述激光束至所述光束分析仪、并在所述挡板开关打开时反射部分所述激光束至所述反射镜；所述反射镜用于在所述挡板开关打开时反射所述激光束沿原光路返回至所述半导体激光器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州长光华芯光电技术股份有限公司 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 检测系统和检测方法
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