龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：南京航空航天大学;南京航空航天大学苏州研究院
摘要：本发明公开一种基于宽光谱干涉的大深宽比过硅孔深度测量装置和方法，宽谱段光源发出的光经过光束整形单元整形后，通过分光调节单元分成两束，一束经由光强衰减装置、第一显微物镜组和参考镜单元的反射，返回分光调节单元；一束经由第二显微物镜组，照射到待测件表面，经由待测件界面反射，返回分光调节单元；返回的两束光再经过成像镜片组由成像相机接收；通过精密位移台使测量装置相对于待测件上下移动扫描，获得干涉强度随相对高度的变化信号，进而计算得到待测件表面的高度信息。采用本发明的技术方案，可以提高测量精度。
主权项：1.一种基于宽光谱干涉的大深宽比过硅孔深度测量装置，其特征在于，包括宽谱段光源、光束整形单元、分光调节单元、第一显微物镜组、第二显微物镜组、光强衰减装置、参考镜单元、成像镜片组、成像相机和精密位移台；其中，宽谱段光源发出的光经过光束整形单元整形后，经分光调节单元分成两束，一束经由光强衰减装置、第一显微物镜组和参考镜单元的反射，返回分光调节单元；一束经由第二显微物镜组，照射到待测件表面，经由待测件界面反射，返回分光调节单元；返回分光镜的两束光再经过成像镜片组由成像相机接收；其中，当参考光和待测件返回光的光程差在预定范围内时，成像相机可接收到干涉信号；通过精密位移台使大深宽比过硅孔深度测量装置相对于待测件上下移动扫描，获得干涉强度随相对高度的变化信号，根据干涉强度随相对高度的变化信号，计算得到待测件表面的高度信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京航空航天大学 南京航空航天大学苏州研究院 基于宽光谱干涉的大深宽比过硅孔深度测量装置和方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号