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申请/专利权人：深圳市汇芯通信技术有限公司
摘要：本申请公开了一种基于图像处理的显影方法和涂布显影机，所述显影方法包括步骤：实时获取滴入显影液后的晶圆的图像；根据图像获得晶圆上未被显影液覆盖的面积S；获取显影液在晶圆表面每秒变化的面积s；根据第一预设公式计算显影液滴加时间t；其中，第一预设公式为t＝Ss。本申请通过实时计算滴入显影液后，未被显影液覆盖的区域的面积，来控制后续滴入的显影液的时间，从而精准控制滴入显影液的量，避免显影液滴入过量，造成浪费，从而导致成本增加。
主权项：1.一种基于图像处理的显影方法，其特征在于，包括步骤：实时获取滴入显影液后的晶圆的图像；根据图像获得晶圆上未被显影液覆盖的面积S；获取显影液在晶圆表面每秒变化的面积s；根据第一预设公式计算显影液滴加时间t；其中，第一预设公式为t＝Ss。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市汇芯通信技术有限公司 基于图像处理的显影方法和涂胶显影机
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