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一种溅射靶材喷砂终止线的车削方法 

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申请/专利权人:宁波江丰电子材料股份有限公司

摘要:本发明提供一种溅射靶材喷砂终止线的车削方法,所述车削方法包括:在靶材车削环节,同步车削出溅射靶材的喷砂区域,并控制所述喷砂区域高于靶材基面轮廓0.01‑0.1mm。本发明提供的车削方法省去了贴胶带的步骤,提高了作业效率,同时避免了手动操作出错所带来的产品质量问题,提升了客户满意度和产品的市场竞争力,有利于大规模推广应用。

主权项:1.一种溅射靶材喷砂终止线的车削方法,其特征在于,所述车削方法包括:在靶材车削环节,同步车削出溅射靶材的喷砂区域,并控制所述喷砂区域高于靶材基面轮廓0.01-0.1mm。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种溅射靶材喷砂终止线的车削方法

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