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申请/专利权人：江苏玖星精密科技集团有限公司
摘要：本发明公开一种高温抗氧化耐腐蚀耐磨降噪导轨涂层及其制备方法与应用，包括步骤：对工件表面进行油污清洗并烘干；将清洗烘干后工件放入真空腔内，将金属靶材装夹到离子镀PVD设备中，抽真空，加热，通入Ar气，设置偏压、蚀刻；通入氮气调节腔内压强，将工件上加入偏压，设置靶材电流，沉积涂层，随炉冷却，取出工件。本发明能够在烤箱高温480℃自清洁时，确保烤箱的导轨及金属架等部件不发生氧化变色，且循环不变色次数达到150次以上，能够保证在96H盐雾腐蚀时不变色，具有较高的耐腐蚀性能和耐磨损性能，有效保证烤箱满足高端定位需求。
主权项：1.一种高温抗氧化耐腐蚀耐磨降噪导轨涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对工件表面进行油污清洗并烘干；S2、将清洗烘干后工件放入真空腔内，将金属靶材装夹到离子镀PVD设备中，抽真空至3×10-3～5×10-3Pa，加热至400～450℃，通入Ar气，设置偏压-150～-250V蚀刻20～40min；S3、通入氮气至腔内压强到达5～10Pa，将工件上加入-50～-200V的偏压，设置靶材电流，沉积涂层，制得TiAlCrN基纳米涂层，随炉冷却，取出工件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏玖星精密科技集团有限公司 高温抗氧化耐腐蚀耐磨降噪导轨涂层及其制备方法与应用
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