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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明属于晶体生长及装置领域，具体涉及一种氧化镓晶体的多腔单晶生长装置。氧化镓晶体的多腔单晶生长装置，包括炉体、加热系统和坩埚下降系统，炉体由炉顶、炉壳和炉底组成，炉体内部设置内炉管和外炉管将炉体内部由内至外分为内腔、中腔和外腔，炉顶开有内腔进气口和中腔进气口；加热系统设置于炉体内部，包括隔热板、主加热器和辅助加热器，隔热板平行设置于炉体内部，主加热器设置于中腔并位于隔热板上方，辅助加热器设置于中腔并位于隔热板下方；坩埚下降系统贯穿炉底伸入内腔并通过坩埚支座与坩埚连接。通过设置多个密闭腔体，使坩埚及加热器可用不同保护气氛保护，避免了铂铑合金的使用，并降低了晶体的生产成本。
主权项：1.一种氧化镓晶体的多腔单晶生长装置，其特征在于，包括炉体、加热系统和坩埚下降系统，所述炉体由炉顶、炉壳和炉底组成，炉体内部设置内炉管和外炉管将炉体内部由内至外分为内腔、中腔和外腔，所述炉顶开有内腔进气口和中腔进气口；所述加热系统设置于炉体内部，包括隔热板、主加热器和辅助加热器，所述隔热板平行设置于炉体内部，所述主加热器设置于中腔并位于隔热板上方，所述辅助加热器设置于中腔并位于隔热板下方；所述坩埚下降系统贯穿炉底伸入内腔并通过坩埚支座与坩埚连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种氧化镓晶体的多腔单晶生长装置
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