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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明提供一种重复利用靶材组件的喷砂终止线车削方法，包括：1确定喷砂终止线的区域，测量靶材组件中背板的变形量；2在喷砂终止线的区域内粘贴至少1层胶带，记为垫高胶带，保证所述垫高胶带的总厚度大于背板的变形量；3在步骤2所述垫高胶带的表面再粘贴1层用于车削的胶带，记为车削胶带；4开始车削处理，在车削完成后抽出垫高胶带，仅保留车削胶带；5将车削胶带按压紧实后形成喷砂终止线。本发明利用胶带的柔性层叠特性，针对背板变形问题，通过层叠胶带来垫高喷砂终止线区域，从而保证了喷砂终止线的精确性和一致性，避免了频繁出现产品质量问题，提升了客户满意度和产品的市场竞争力，有利于大规模推广应用。
主权项：1.一种重复利用靶材组件的喷砂终止线车削方法，其特征在于，所述喷砂终止线车削方法包括以下步骤：1确定喷砂终止线的区域，并测量靶材组件中背板的变形量；2在喷砂终止线的区域内粘贴至少1层胶带，记为垫高胶带，并保证所述垫高胶带的总厚度大于背板的变形量；3在步骤2所述垫高胶带的表面再粘贴1层用于车削的胶带，记为车削胶带；4开始车削处理，并在车削完成后抽出垫高胶带，仅保留车削胶带；5将车削胶带按压紧实后形成喷砂终止线。
全文数据：
权利要求：
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