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申请/专利权人：浙江鸿禧能源股份有限公司
摘要：本发明公开了一种晶硅太阳能电池硅片表面反光率检测装置，涉及半导体检测技术领域，旨在解决现有装置无法满足现阶段硅片检测要求的技术问题，包括检测基台，本发明通过在承载架上设置升降机构，在升降机构上吊装动态调距机构，在动态调距机构上连接若干个柔性避光机构，本发明通过动态调距机构使得若干个柔性避光机构对若干个晶硅太阳能电池硅片进行柔性夹持检测，通过分散压力、减小接触面积，显著降低了对硅片表面的潜在损伤风险，避免了因压力不均导致的局部形变，从而提高了反光率检测的精度，柔性夹持硅片表面形成紧密的贴合，减少光线的泄露，良好的密封性有助于在检测过程中保持检测区域的遮光效果，从而提高反光率检测的准确性。
主权项：1.一种晶硅太阳能电池硅片表面反光率检测装置，其特征在于，包括检测基台1，所述检测基台1上设有带式输送机2，所述检测基台1上靠近所述带式输送机2背面的位置设有承载架3，所述承载架3上位于所述带式输送机2正上方的位置设有升降机构4，所述升降机构4上吊装有动态调距机构5，所述动态调距机构5上连接有若干柔性避光机构6；其中，所述动态调距机构5致使若干所述柔性避光机构6呈水平对向柔性夹持检测，且，所述柔性避光机构6具有检测避光及空窗避光两种避光状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江鸿禧能源股份有限公司 一种晶硅太阳能电池硅片表面反光率检测装置
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