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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：公开和描述了具有基于六脚架的基座系统的半导体处理工具。这样的六脚架基座系统可纳入具有固定支架的六脚架机构，固定支架通过六个线性致动器与可移动支架连接。可移动支架可支撑位于半导体处理室内的基座。可控制六脚架机构，以允许基座横向偏移以便将基座定心于由晶片搬运机器人所支撑的晶片上、以及将由其所支撑的晶片与喷头的下侧成角度地校准，并且允许由其所支撑的晶片在晶片处理操作期间经受各种移动其中任一者，其可促进晶片均匀性的增加。
主权项：1.一种装置，其包括：基座，其被配置成在晶片处理操作期间支撑半导体晶片；以及六脚架机构，其包括：可移动支架，其支撑所述基座；固定支架；以及能独立控制的六个线性制动器，每个线性制动器具有与所述固定支架能枢转地连接的第一端以及与所述可移动支架能枢转地连接的第二端，其中所述线性制动器相对于所述固定支架来支撑所述可移动支架。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于半导体处理操作的基于六脚架的基座系统
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