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申请/专利权人：清华大学
摘要：本申请涉及一种光束探测自动对焦装置和方法。所述装置包括激光组件、光学组件、成像组件和控制器；所述控制器分别与所述激光组件和所述成像组件连接；所述激光组件，用于发射符合预设条件的第一激光光束；所述光学组件，用于对所述第一激光光束进行调整，并将调整得到的第二激光光束通过显微镜的物镜入射到样品，以及将从所述样品返回的第三激光光束传输到所述成像组件；所述成像组件，用于根据所述第三激光光束生成对焦信号；所述控制器，用于根据所述对焦信号输出控制信号，其中，所述控制信号用于控制所述物镜或所述显微镜的载物台移动，以完成对焦。采用本装置能够在不同工况条件下快速切换焦点。
主权项：1.一种光束探测自动对焦装置，其特征在于，所述装置包括激光组件、光学组件、成像组件和控制器；所述控制器分别与所述激光组件和所述成像组件连接；所述激光组件，用于发射符合预设条件的第一激光光束；所述光学组件，用于对所述第一激光光束进行调整，并将调整得到的第二激光光束通过显微镜的物镜入射到样品，以及将从所述样品返回的第三激光光束传输到所述成像组件；所述成像组件，用于根据所述第三激光光束生成对焦信号；所述控制器，用于根据所述对焦信号输出控制信号，其中，所述控制信号用于控制所述物镜或所述显微镜的载物台移动，以完成对焦。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 光束探测自动对焦装置和方法
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