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一种用于高转速高精度设备的球面气浮主轴结构 

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申请/专利权人:无锡市蚨瑞精密机电设备有限公司

摘要:本发明公开了一种用于高转速高精度设备的球面气浮主轴结构,涉及气浮主轴技术领域,气浮机构,气浮机构的外壁一端设置刀头机构,且刀头机构用于更换刀头,气浮机构的顶部设置冷却机构,且冷却机构用于气浮机构的散热。把主轴打磨成球面结构,并配合球面节流器,把左半球和右半球贴合在球面节流器的内表面,就能使本装置具有自定心功能,有效降低了装配误差,而两个半球可以采用研磨和抛光工艺,球面节流器可以采用金刚石车削工艺,使得加工误差将达到亚微米级别,把电机中置,使得电机电磁力在转子部件的质心附近,有效降低电机不对称电磁力产生的弯矩,从而使本装置的气浮主轴的回转误差能够小于25nm,极大提升高转速、高精度设备的运转精度。

主权项:1.一种用于高转速高精度设备的球面气浮主轴结构,其特征在于:包括气浮机构1,所述气浮机构1的外壁一端设置刀头机构2,且刀头机构2用于更换刀头,所述气浮机构1的顶部设置冷却机构3,且冷却机构3用于气浮机构1的散热;所述气浮机构1包括防护壳10,所述防护壳10的内表壁固定安装有固定套11,所述固定套11的内表壁固定安装有定子12,且定子12的内表壁设置转子13,并在转子13的内表壁固定插设有轴芯14,而轴芯14的外壁一端固定连接有连接轴15,所述轴芯14的外表壁固定套设有两个轴套16,且两个轴套16的外表壁分别固定安装有左半球17和右半球18,所述固定套11的外壁两侧均固定安装有球面节流器19,且两个球面节流器19的内表壁分别活动套设在左半球17和右半球18的外表壁,所述固定套11的内部开设通气道110,且固定套11的顶部固定连通有第一气管接头111,而第一气管接头111与通气道110相连通,两个所述球面节流器19的内表壁均开设一组气路112,所述固定套11的外壁一侧固定安装有第一连接盘116。

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