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申请/专利权人：东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要：本申请属于半导体设备的装配领域，尤其是涉及一种吊装装置及电子枪吊装方法，吊装装置包括：机架组件；支撑体，用于使吊装物吊在所述支撑体下方；自定心机构，包括安装组件及转动组件，所述安装组件连接于所述机架组件且相对所述机架组件可动，所述转动组件连接于所述安装组件且能够自转；其中，所述支撑体连接所述转动组件，所述转动组件通过自转使其自传轴线稳定地处于竖直延伸的状态，从而使所述吊装物保持稳定。当吊装物受到扰动时有晃动趋势使，由于系统的惯性力矩极大，在角动量守恒原理下转动组件倾向于保持其自转轴的不变，从而保持吊装物稳定。通过这种设计，确保吊装物始终保持一个相对稳定的重心位置，从而确保在安装时具备高精准度。
主权项：1.一种吊装装置，其特征在于，包括：机架组件；支撑体，用于使吊装物吊在所述支撑体下方；自定心机构，包括安装组件及转动组件，所述安装组件连接于所述机架组件且相对所述机架组件可动，所述转动组件连接于所述安装组件且能够自转；其中，所述支撑体连接所述转动组件，所述转动组件通过自转使其自传轴线稳定地处于竖直延伸的状态，从而使所述吊装物保持稳定。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 一种吊装装置及电子枪吊装方法
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