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申请/专利权人：华中科技大学
摘要：本申请属于极紫外计算光刻领域，具体公开了一种极紫外光刻部分相干成像建模方法、装置和电子设备，该方法包括：初始化极紫外照明光源；生成多个离散光源点，并获取多个离散光源点分别对应的平面波；将极紫外掩模版的吸收体划分为多个横截面，将平面波作为第一个横截面的光场，依次计算多个横截面的光场，获得吸收体输出光场；获得多层膜反射后的输出光场；将极紫外掩模版划分为多个横截面，将多层膜反射后的输出光场作为第一个横截面的光场，依次计算多个横截面的光场，获得极紫外掩模版散射近场；基于极紫外掩模版散射近场、低通滤波、离焦量、偏振像差、倾斜因子效应和放大倍率，获得空间像，以完成极紫外光刻部分相干成像建模。
主权项：1.一种极紫外光刻部分相干成像建模方法，其特征在于，包括：基于极紫外照明光源照明条件，初始化极紫外照明光源；基于初始化后的极紫外照明光源，生成多个离散光源点，并获取所述多个离散光源点分别对应的平面波；将极紫外掩模版的吸收体划分为多个横截面，将所述平面波作为第一个横截面的光场，依次计算多个横截面分别对应的光场，并基于所述多个横截面分别对应的光场获得吸收体输出光场；基于所述吸收体输出光场，获得多层膜反射后的输出光场；将极紫外掩模版划分为多个横截面，将所述多层膜反射后的输出光场作为第一个横截面的光场，依次计算多个横截面分别对应的光场，并基于所述多个横截面分别对应的光场获得极紫外掩模版散射近场；基于所述极紫外掩模版散射近场、低通滤波、离焦量、偏振像差、倾斜因子效应和放大倍率，获得空间像，以完成极紫外光刻部分相干成像建模。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华中科技大学 极紫外光刻部分相干成像建模方法、装置和电子设备
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