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一种多功能高频加热退火炉 

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申请/专利权人:深圳市业展电子有限公司

摘要:本发明提供一种多功能高频加热退火炉,其包括:底座、炉门仓、加热仓、顶盖装置、载物台以及升降装置,底座上设有支撑架,炉门仓安装于底座上,加热仓设于炉门仓上且通过支撑架与底座连接,顶盖装置盖设于加热仓的顶部,载物台设于炉门仓与加热仓的内部。炉门仓包括炉仓本体以及炉门,炉仓本体上开设有气体接口以及泵接口。加热仓包括:热仓本体、固定架、混用螺旋线圈以及隔热炉砖,固定架设于热仓本体上,混用螺旋线圈设于热仓本体的外围,隔热炉砖安装于热仓本体的内壁上;混用螺旋线圈为中空结构,混用螺旋线圈内设有导电线管以及冷却水管。该多功能高频加热退火炉能够满足不同冷却方式的需求,同时简化操作步骤,为操作员提供便利。

主权项:1.一种多功能高频加热退火炉,其特征在于,包括:底座、炉门仓、加热仓、顶盖装置、载物台以及升降装置,所述底座上设有支撑架,所述炉门仓安装于所述底座上,所述加热仓设于所述炉门仓上且通过所述支撑架与所述底座连接,所述顶盖装置盖设于所述加热仓的顶部,所述载物台滑动设于所述炉门仓与所述加热仓的内部,所述升降装置驱动所述载物台移动;所述炉门仓包括炉仓本体以及炉门,所述炉仓本体上开设有气体接口以及泵接口;所述加热仓包括:热仓本体、固定架、混用螺旋线圈、以及隔热炉砖,所述固定架设于所述热仓本体上,所述混用螺旋线圈通过所述固定架套设于所述热仓本体的外围,所述隔热炉砖安装于所述热仓本体的内壁上;所述混用螺旋线圈为中空结构,所述混用螺旋线圈内设有导电线管以及冷却水管。

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