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基于Bi2Te3的双i型异质结红外探测器及其制作方法 

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申请/专利权人:广州市南沙区北科光子感知技术研究院;北京信息科技大学

摘要:本发明涉及红外探测器技术领域,提供了一种基于Bi2Te3的双i型异质结红外探测器及其制作方法,包括衬底、MoSe2材料层、Bi2Te3材料层、WS2材料层、源电极以及漏电极;MoSe2材料层设置在衬底表面;Bi2Te3材料层设置在所述衬底表面且Bi2Te3材料层的一端与MoSe2材料层的表面接触,与MoSe2材料层形成i型异质结;WS2材料层设置在衬底表面且所述WS2材料层的一端与所述Bi2Te3材料层的表面接触,与Bi2Te3材料层形成i型异质结;源电极设置在衬底表面且与MoSe2材料层相接触,漏电极设置在衬底表面且与WS2材料层相接触,Bi2Te3材料层不与源电极、漏电极接触。本发明有效抑制了光生电子‑空穴对的层间复合和界面捕获效应,从而提高了红外探测器器的光电转换效率和响应速度。

主权项:1.一种基于Bi2Te3的双i型异质结红外探测器,其特征在于,包括衬底、MoSe2材料层、Bi2Te3材料层、WS2材料层、源电极以及漏电极;MoSe2材料层设置在所述衬底表面;Bi2Te3材料层设置在所述衬底表面且所述Bi2Te3材料层的一端与所述MoSe2材料层的表面接触,与所述MoSe2材料层形成i型异质结;WS2材料层设置在所述衬底表面且所述WS2材料层的一端与所述Bi2Te3材料层的表面接触,与所述Bi2Te3材料层形成i型异质结;源电极设置在所述衬底表面且与MoSe2材料层相接触,漏电极设置在所述衬底表面且与WS2材料层相接触,Bi2Te3材料层不与源电极、漏电极接触。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 广州市南沙区北科光子感知技术研究院 北京信息科技大学 基于Bi2Te3的双i型异质结红外探测器及其制作方法

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