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申请/专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
摘要：本说明书实施例提供一种电容器结构、电容器阵列及电源，其中，电容器结构，包括：金属层，包括第一电极和第二电极，所述第一电极包括第一梳柄部、以及与所述第一梳柄部相连且沿第一方向平行排列的多个第一梳齿部，所述第二电极包括第二梳柄部、以及与所述第二梳柄部相连且沿所述第一方向平行排列的多个第二梳齿部；多个所述第一梳齿部和多个所述第二梳齿部分立设置在所述第一梳柄部两侧，位于所述第一梳齿部同一侧的所述第一梳齿部和所述第二梳齿部沿第二方向依次交错排列，且具有间隔；其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。采用上述方案，能够提高电容器的电容密度。
主权项：1.一种电容器结构，其特征在于，包括：金属层，包括第一电极和第二电极，所述第一电极包括第一梳柄部、以及与所述第一梳柄部相连且沿第一方向平行排列的多个第一梳齿部，所述第二电极包括第二梳柄部、以及与所述第二梳柄部相连且沿所述第一方向平行排列的多个第二梳齿部；多个所述第一梳齿部和多个所述第二梳齿部分立设置在所述第一梳柄部两侧，位于所述第一梳齿部同一侧的所述第一梳齿部和所述第二梳齿部沿第二方向依次交错排列，且具有间隔；其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 电容器结构、电容器阵列及电源
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