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申请/专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
摘要：本申请涉及一种光敏聚酰胺酸酯及其制备方法、光敏聚酰亚胺光刻组合物和应用。所述光敏聚酰胺酸酯具有如下式I所示结构特征。采用该光敏聚酰胺酸酯配制光刻胶具有较高分辨率，且对基材附着力强。
主权项：1.一种光敏聚酰胺酸酯，其特征在于，具有如下式I所示结构特征： 其中，R1各自独立地为封端剂的残基；R2各自独立地为甲基丙烯酸酯类单体或丙烯酸酯类单体的酯化残基，且R2包含羟基取代基； 各自独立地为芳香族二酐的残基；Ar2为具有如下所示结构特征的基团： X1各自独立地为氢、烷基、含氟烷基、羧基或羟基，且至少一个X1是羧基；Z为单键或桥连基团； 为芳香族二胺的残基；m为0.01～0.5；n为10～100。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 光敏聚酰胺酸酯及其制备方法、光敏聚酰亚胺光刻组合物和应用
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