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申请/专利权人：杭州银湖激光科技有限公司
摘要：本发明公开了一种激光辅助湿法刻蚀加工金刚石微孔装置及方法，包括加工平台、液体容器、激光扫描系统、超声波发生装置和辅助加热装置；加工平台用于固定金刚石薄片，液体容器设置于加工平台上；液体容器盛装有腐蚀液，相变后的金刚石薄片浸没在液体容器的腐蚀液；液体容器盛装有腐蚀液，相变后的金刚石薄片浸没在液体容器的腐蚀液中；超声波发生装置和辅助加热装置分别用于对液体容器的腐蚀液进行超声处理和辅助加热，以加速石墨的化学反应和去除，从而在金刚石薄片表面形成微孔。本发明显著提高了金刚石钻孔的效率，降低了时间成本。
主权项：1.一种激光辅助湿法刻蚀加工金刚石微孔装置，其特征在于，包括加工平台、液体容器、激光扫描系统、超声波发生装置和辅助加热装置；所述加工平台用于固定金刚石薄片，所述液体容器设置于所述加工平台上；所述激光扫描系统用于对所述加工平台上的金刚石薄片进行激光照射，使照射区域的金刚石薄片相变为石墨；所述液体容器盛装有腐蚀液，相变后的金刚石薄片浸没在所述液体容器的腐蚀液中；所述超声波发生装置和辅助加热装置分别用于对所述液体容器的腐蚀液进行超声处理和辅助加热，以加速石墨的化学反应和去除，从而在金刚石薄片表面形成微孔。
全文数据：
权利要求：
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