买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：常州卓旻精密机械科技有限公司

摘要：本发明提供了一种用于真空镀膜腔的真空摆阀及其工作方法，其中，用于真空镀膜腔的真空摆阀包括：阀体、阀板、驱动机构以及转动式支撑组件；所述阀板转动设置在所述阀体的内腔中上；所述驱动机构适于驱动所述阀板将所述阀体的内腔中的阀口打开或关闭；所述转动式支撑组件套设在所述阀板与所述阀体之间，且远离真空侧设置；所述阀板适于在打开阀口时，驱动转动式支撑组件转动。通过在阀板与阀体之间设置转动式支撑组件对垫片的位置进行调节，在阀板每次打开时，推动垫片转动，使阀板与垫片的受力点发生改变，从而延缓垫片的变形时间，提高真空摆阀的使用寿命。

主权项：1.一种用于真空镀膜腔的真空摆阀，其特征在于，包括：阀体、阀板、驱动机构以及转动式支撑组件；所述阀板转动设置在所述阀体的内腔中上；所述驱动机构适于驱动所述阀板将所述阀体的内腔中的阀口打开或关闭；所述转动式支撑组件套设在所述阀板与所述阀体之间，且远离真空侧设置；所述阀板适于在打开阀口时，驱动转动式支撑组件转动；所述驱动机构包括：支撑底座、驱动电机以及转动部；所述支撑底座固定设置在所述阀体的内腔中；所述驱动电机固定设置在所述阀体的外表面；所述转动部一端穿过所述阀体的侧壁，深入到所述阀体的内腔后，与所述阀板固定连接，另一端与所述驱动电机的转子连接；所述驱动电机适于在工作时，驱动所述转动部正传或反转，从而驱动所述阀板将所述阀体的内腔中的阀口打开或关闭；所述转动式支撑组件设置在所述支撑底座与所述阀板之间，且设置在所述支撑底座上；所述转动式支撑组件包括：垫片以及单向驱动件；所述支撑底座开设有转动槽；所述垫片的下部插入所述转动槽中，所述垫片的上部从所述转动槽伸出；所述单向驱动件滑动设置在所述支撑底座的顶面；所述阀板适于在打开时，驱动所述单向驱动件滑动，从而推动所述垫片转动；所述单向驱动件包括：弧形推动板、第一滑动柱以及第二滑动柱；所述弧形推动板一端与所述垫片的侧壁抵持，另一端通过所述第一滑动柱滑动设置在所述支撑底座上；所述第二滑动柱固定设置在所述弧形推动板的中部的底面上，且滑动设置在所述支撑底座上；所述阀板适于在打开时，推动所述弧形推动板在所述支撑底座上滑动，从而通过弧形推动板与垫片之间的摩擦力，推动所述垫片转动；所述支撑底座开设有与所述述第一滑动柱以及所述第二滑动柱适配的第一弧形滑动槽以及第二弧形滑动槽；所述第一弧形滑动槽以及所述第二弧形滑动槽内均设置有限位弹簧；所述限位弹簧的伸缩方向与对应的所述第一滑动柱以及所述第二滑动柱的滑动方向相同；所述弧形推动板适于在被所述阀板推动后，挤压所述限位弹簧，对弧形推动板进行限位；所述弧形推动板的顶面开设有弧形槽；所述弧形槽内弹性设置有弧形挡板；所述弧形挡板的顶部从所述弧形槽的顶部伸出，且所述弧形挡板的顶面高度高于所述阀板的底面的高度；所述阀板适于在打开时，与所述弧形挡板的侧壁抵持，从而推动所述弧形推动板转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 常州卓旻精密机械科技有限公司 用于真空镀膜腔的真空摆阀及其工作方法