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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：基板处理装置具有基板处理部和控制部。基板处理部具有加载埠，该加载埠构成为配置收容有至少一个基板的基板收容容器。基板处理部构成为从配置于加载埠的基板收容容器取出基板，并且对该基板实施一系列的处理。控制部构成为控制配置于加载埠的基板收容容器的盖的开闭。在将基板收容容器配置于加载埠后，控制部控制为打开盖。在基板处理部发生了异常状态并经过了预先决定的时间、并且在从基板收容容器取出的基板中没有能够回收至所述基板收容容器中的基板的情况下，控制部控制为关闭盖。
主权项：1.一种基板处理装置，具有：基板处理部，其具有加载埠，该加载埠构成为配置收容有至少一个基板的基板收容容器，所述基板处理部构成为从配置于所述加载埠的所述基板收容容器取出基板，并对该基板实施一系列的处理；以及控制部，其构成为控制配置于所述加载埠的所述基板收容容器的盖的开闭，在将所述基板收容容器配置于所述加载埠之后，所述控制部控制为打开所述盖，在所述基板处理部发生了异常状态并经过了预先决定的时间、并且从所述基板收容容器取出来的基板中没有能够回收至所述基板收容容器中的基板的情况下，所述控制部控制为关闭所述盖。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板处理装置、开闭基板收容容器的盖的方法
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