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申请/专利权人：株式会社日立高新技术
摘要：在短时间内测量重合偏差量的测定。图像生成部根据检测器的信号生成图像。匹配处理部在由图像生成部生成的图像中，通过与模板图像的匹配处理，确定重合测量用图案的位置。线轮廓生成部对重合图案进行扫描，生成针对二次电子信号的第一线轮廓，并且生成针对反射电子信号的第二线轮廓。重合偏差量测定部根据第一线轮廓确定重合测量用图案中的第一图案的位置，并且根据第二线轮廓确定重合测量用图案中的第二图案的位置，根据第一图案的位置以及第二图案的位置，测定试样中的重合偏差量。
主权项：1.一种带电粒子束系统，其特征在于，具有：带电粒子束照射部，其对试样照射带电粒子束；检测器，其检测来自所述试样的二次电子信号或反射电子信号；以及计算机系统，其控制所述带电粒子束照射部，并且测定所述试样中的重合偏差量；所述计算机系统具有：图像生成部，其根据所述检测器的信号来生成图像；匹配处理部，其在由所述图像生成部生成的图像中，通过与模板图像的匹配处理，确定重合测量用图案的位置；线轮廓生成部，其选择性地扫描所述重合测量用图案的一部分区域，生成针对所述二次电子信号的第一线轮廓，并且生成针对所述反射电子信号的第二线轮廓；以及重合偏差量测定部，其根据所述第一线轮廓确定所述重合测量用图案中的第一图案的位置，并且根据所述第二线轮廓确定所述重合测量用图案中的第二图案的位置，根据所述第一图案的位置和所述第二图案的位置，测定所述试样中的重合偏差量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社日立高新技术 带电粒子束系统以及重合偏差量测定方法
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