龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
摘要：提供一种后电填充模块及用于后电填充模块的校准方法。用于后电填充模块的校准方法包括：设置校正器具于晶圆固持器上方，校正器具包括支架、影像侦测器，以及第一、第二及第三激光光源。设置晶圆于晶圆固持器上，晶圆的中心对准第一激光光源放射出的第一激光标记。使第二激光光源放射出的第二激光标记对准晶圆的边缘。设置喷嘴于晶圆上方。使第三激光光源放射出的第三激光标记对准喷嘴。以影像侦测器量测第一至第二激光标记间的第一距离，以及第一至第三激光标记间的第二距离。确认第一距离减去第二距离的差值是否等同于预定值。
主权项：1.一种用于后电填充模块的校准方法，其特征在于，包括：设置一校正器具于一晶圆固持器上方，其中该校正器具包括：一支架；一影像侦测器，设置于该支架上，朝向该晶圆固持器；以及一第一激光光源、一第二激光光源及一第三激光光源，分别设置于该支架上，朝向该晶圆固持器；设置一晶圆于该晶圆固持器上，其中该晶圆的一中心对准该第一激光光源放射出的一第一激光标记；使该第二激光光源放射出的一第二激光标记对准该晶圆的一边缘；设置一喷嘴于该晶圆上方；使该第三激光光源放射出的一第三激光标记对准该喷嘴；以该影像侦测器量测该第一激光标记至该第二激光标记间的一第一距离，以及该第一激光标记至该第三激光标记间的一第二距离；以及确认该第一距离减去该第二距离的一差值是否等同于一预定值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾积体电路制造股份有限公司 后电填充模块及用于后电填充模块的校准方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号