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申请/专利权人：佳能特机株式会社
摘要：本发明提供抑制成膜装置的大型化的成膜装置、成膜方法及蒸发源单元。成膜装置具备对在移动方向上相对地移动的基板进行成膜的成膜单元。成膜单元包括：多个蒸发源，分别具有加热部件和独立的材料容器，并放出蒸镀物质；以及多个监视部件，分别监视来自多个蒸发源的蒸镀物质的放出状态。多个蒸发源包括在与移动方向交叉的第一方向上排列的第一蒸发源及第二蒸发源。多个监视部件包括在与第一方向交叉的第二方向上排列的第一监视部件及第二监视部件。第一监视部件监视来自第一蒸发源的蒸镀物质的放出状态，第二监视部件监视来自第二蒸发源的蒸镀物质的放出状态。
主权项：1.一种成膜装置，具备对在移动方向上相对地移动的基板进行成膜的成膜单元，其特征在于，所述成膜单元包括：多个蒸发源，分别具有加热部件和独立的材料容器，并放出蒸镀物质；以及多个监视部件，分别监视来自所述多个蒸发源的蒸镀物质的放出状态，所述多个蒸发源包括在与所述移动方向交叉的第一方向上排列的第一蒸发源及第二蒸发源，所述多个监视部件包括在与所述第一方向交叉的第二方向上排列的第一监视部件及第二监视部件，所述第一蒸发源和所述第一监视部件在所述第二方向上重叠地配置，在所述第一方向上，从所述第二蒸发源到所述第一监视部件的距离比从所述第一蒸发源到所述第一监视部件的距离长，在所述第一方向上，从所述第二蒸发源到所述第二监视部件的距离比从所述第一蒸发源到所述第二监视部件的距离长，所述成膜单元包括抑制蒸镀物质从所述第二蒸发源向所述第一监视部件的飞散的抑制板，所述抑制板在所述第一方向上配置在所述第一蒸发源与所述第二蒸发源之间，在所述抑制板上形成有容许蒸镀物质从所述第二蒸发源向所述第二监视部件飞散的容许部，所述第一监视部件监视来自所述第一蒸发源的蒸镀物质的放出状态，所述第二监视部件监视来自所述第二蒸发源的蒸镀物质的放出状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能特机株式会社 成膜装置、成膜方法及蒸发源单元
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