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申请/专利权人：深圳技术大学
摘要：本发明涉及钙钛矿太阳能电池技术领域，尤其涉及一种具有NiOx缓冲层的钙钛矿太阳能电池及其制备方法，制备方法包括步骤：利用原子层沉积法在预处理后的TCO衬底上沉积NiOx缓冲层；利用旋涂法在NiOx缓冲层上沉积氧化镍空穴传输层；在氧化镍空穴传输层上依次制备钙钛矿吸光层、电子传输层、电荷阻挡层和电极层，得到具有NiOx缓冲层的钙钛矿太阳能电池。该缓冲层有效地解决了NiOx空穴传输层与TCO衬底晶格不匹配的问题，通过原子层沉积技术制备超薄NiOx缓冲层降低表面粗糙度提高表面浸润性，促进后续空穴传输层的成膜质量。
主权项：1.一种具有NiOx缓冲层的钙钛矿太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括步骤：提供TCO衬底并进行预处理，得到预处理后的TCO衬底；在原子层沉积设备的反应腔体中放置有机镍源，并设置沉积温度和镍源加热温度；利用脉冲氧化物前驱体进入反应腔体，随后脉冲惰性气体吹扫反应腔体；脉冲有机镍源进入腔体与预处理后的TCO衬底进行氧化还原反应生成NiOx薄膜；再次利用脉冲惰性气体吹扫反应腔体，制得NiOx缓冲层；利用旋涂法在所述NiOx缓冲层背离所述TCO衬底的一侧沉积氧化镍空穴传输层；在所述氧化镍空穴传输层背离所述NiOx缓冲层的一侧依次制备钙钛矿吸光层、电子传输层、电荷阻挡层和电极层，得到具有NiOx缓冲层的钙钛矿太阳能电池。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳技术大学 具有NiOx缓冲层的钙钛矿太阳能电池及其制备方法
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