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申请/专利权人：深圳众诚达应用材料股份有限公司
摘要：本申请涉及靶材技术领域，提供了一种铜铟镓硒靶材及其制备方法和太阳能电池，该铜铟镓硒靶材的制备方法包括：制备铜铟镓硒浆料；将所述铜铟镓硒浆料注入铜骨架中，进行抽滤处理，形成坯体；将所述坯体进行脱脂处理，然后进行真空烧结处理，得到铜铟镓硒靶材。本申请提供的铜铟镓硒靶材的制备方法，通过制备铜铟镓硒浆料并注入铜骨架中抽滤形成坯体，防止硒挥发和低熔点元素损失，从而能精准控制靶材成分配比，提高原料利用率。并且，油性溶剂可以保护铜银镓合金颗粒以防氧化，以降低靶材氧含量，减小电阻，而且可使用粒径更小的铜银镓合金颗粒，从而具有更大的比表面积和更多的接触点，在烧结过程中更易与硒粉粘结和团聚，提升靶材组织均匀性。
主权项：1.一种铜铟镓硒靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：将铜铟镓合金颗粒和硒粉分散在油性溶剂中，然后加入粘合剂搅拌均匀，得到铜铟镓硒浆料；所述铜铟镓合金颗粒的粒径为5~30μm；所述硒粉的粒径为5~30μm；将所述铜铟镓硒浆料注入铜骨架中，进行抽滤处理，形成坯体；所述铜骨架呈三维多孔结构，孔隙率为90~98%，体密度为0.1~0.5gcm3；所述铜铟镓合金颗粒中的铜原子和所述铜骨架中的铜原子的比例为（19~25）（1~5）；将所述坯体进行脱脂处理，然后进行真空烧结处理，得到铜铟镓硒靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳众诚达应用材料股份有限公司 一种铜铟镓硒靶材及其制备方法和太阳能电池
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