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申请/专利权人：苏州维纳仪器有限责任公司

摘要：本发明提供一种多波长激光干涉装置，其特征在于，包括：激光产生单元，用于产生多种不同波长的激光光源；光源转换单元，用于将激光光源转换为点光源；分光单元，用于对点光源的进行部分折射形成分光光束，导轨机构，长度方向与分光光束的光路方向一致，准直单元，可移动地设置在导轨机构上并且能够沿导轨机构的长度方向移动，用于使分光光束形成平行光束并射入光学系统，从而反射形成参考光束以及测试光束；成像单元，用于对滤波后的参考光束以及测试光束进行干涉成像，其中，准直单元以及成像单元均采用消色差结构，不同波长至少包括一个可见光波长以及一个近红外波长，准直单元被调整为使得可见光波长和近红外波长的激光光源共聚焦。

主权项：1.一种多波长激光干涉装置，用于检测光学系统的透射波前，其特征在于，包括：激光产生单元，用于产生五种不同波长的激光光源，其波长分别为473nm、532nm、632.8nm、721nm、1064nm；光源转换单元，用于将所述激光光源转换为点光源；分光单元，用于对所述点光源的进行部分折射形成分光光束，导轨机构，长度方向与所述分光光束的光路方向一致，准直单元，可移动地设置在所述导轨机构上并且能够沿所述导轨机构的长度方向移动，用于使所述分光光束形成平行光束并射入所述光学系统，从而反射形成参考光束以及测试光束；光阑机构，用于对所述参考光束以及所述测试光束进行滤波；成像单元，用于对滤波后的所述参考光束以及所述测试光束进行干涉成像；以及控制单元，其中，所述准直单元以及所述成像单元均采用消色差系统，所述消色差系统对可见光波长中的一种和近红外波长中的一种进行消色差，被消色差的所述可见光波长和所述近红外波长分别为473nm和1064nm，所述准直单元被调整为使得被消色差的所述可见光波长和所述近红外波长的所述激光光源共聚焦，当所述激光产生单元调整产生的所述激光光源的波长时，所述准直单元在所述导轨机构上的位置被调整至使得所述参考光束以及所述测试光束的焦点位于所述光阑机构处，所述准直单元和所述成像单元均采用远心结构设计，所述消色差系统为双胶合结构、三胶合结构、双分离结构、胶合与分离结构、分离与胶合结构、三分离结构中的任意一种，所述导轨机构包括用于对所述准直单元的移动进行控制的准直驱动件，所述控制单元包括移动信息存储部以及准直控制部，所述移动信息存储部至少存储有各个所述波长以及与该波长一一对应的所述准直单元的位置信息，所述准直控制部根据与当前波长相对应的所述位置信息控制所述准直驱动件将所述准直单元移动到相应位置。

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