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申请/专利权人：广州医科大学
摘要：本发明涉及微加工领域，尤其公开了复合化学蚀刻加工装置及加工方法，复合化学蚀刻加工装置包括掩模单元、同步亲水化单元及化学蚀刻单元，掩模单元贴合在工件表面，同步亲水化单元对掩模单元以及掩模图案所显露的工件加工区域进行亲水化处理，使得复合化学蚀刻加工过程和亲水化效应实现实时同步，从而使得工件的加工区域具备优异的工作液传质及循环能力；实时的亲水化处理效应，使得在蚀刻加工过程中蚀刻液在工件加工区域内始终具有良好的传质和更新能力，利于突破现有掩模化学蚀刻加工在加工尺度上及加工深度上的制造瓶颈，实现高深径比微结构的制备，提升微结构的加工质量及加工效率。
主权项：1.一种复合化学蚀刻加工装置，其特征在于：包括掩模单元、同步亲水化单元及化学蚀刻单元，掩模单元贴合在工件上，掩模单元设有显露工件加工区域的掩模图案，化学蚀刻单元用于将化学蚀刻液输送至掩模图案所显露的工件加工区域；同步亲水化单元对掩模单元及掩模图案所显露的工件加工区域进行实时的亲水化处理，促进化学蚀刻液在加工区域的传质及流动；所述同步亲水化单元包括等离子处理机、第一电极、第二电极、喷枪件、气体源，第一电极、第二电极均位于喷枪件内，等离子处理机的正极、负极分别连接第一电极、第二电极，气体源与喷枪件连通，气体源用于向喷枪件输送气体，等离子处理机作用于两个电极，使得喷枪件内的气体电离形成等离子体，喷枪件喷出的等离子体作用在掩模单元及掩模图案所显露的工件加工区域，实现对其表面进行亲水化处理，使得掩模单元及掩模图案所显露的工件加工区域在化学蚀刻加工过程中均能实现实时亲水化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州医科大学 一种复合化学蚀刻加工装置及加工方法
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