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申请/专利权人：中熵科技(徐州)有限公司

摘要：一种半导体电热膜输送装置，包括保护箱体、物料承载机构、物料承载机构、废液回收机构、液体循环输送机构和通风处理机构，物料承载机构设置于保护箱体的内腔；物料承载机构的下方设有第一分隔板，第一分隔板的表面开设有若干组安装孔，安装孔的内部设有过滤网；废液回收机构设置于第一分隔板的下方；保护箱体内壁的顶部设有顶板，顶板的表面开设有通槽，通槽的内部设有清洗管，清洗管的一侧设有喷洒头；液体循环输送机构设置于保护箱体的外侧，且与顶板内部连接。本发明通过通风处理机构，实现对保护箱体内部空气的通风和过滤处理，配合液体循环输送机构，有效降低输送过程中的环境温度，提高对半导体电热膜性能的保护。

主权项：1.一种半导体电热膜输送装置，其特征在于，包括：保护箱体（1）；物料承载机构（9），设置于所述保护箱体（1）的内腔；所述物料承载机构（9）的下方设有第一分隔板（5），所述第一分隔板（5）的表面开设有若干组安装孔（6），所述安装孔（6）的内部设有过滤网（8）；所述保护箱体（1）内壁的顶部设有顶板（43），所述顶板（43）的表面开设有通槽（44），所述通槽（44）的内部设有清洗管（45），所述清洗管（45）的一侧设有喷洒头（46）；液体循环输送机构（60），设置于所述保护箱体（1）的外侧，且与所述顶板（43）内部连接；废液回收机构（24），设置于所述第一分隔板（5）的下方；通风处理机构（47），设置于所述保护箱体（1）的顶部；所述保护箱体（1）的内腔分别设有第一凹型限位框（10）、第二凹型限位框（57）、第三凹型限位框（62）和第四凹型限位框（63）；所述第一凹型限位框（10）、第二凹型限位框（57）、第三凹型限位框（62）和第四凹型限位框（63）的一侧分别连接于所述保护箱体（1）的内壁；所述第一凹型限位框（10）和第二凹型限位框（57）设于同一水平线，所述第三凹型限位框（62）和第四凹型限位框（63）设于同一水平线，所述第一凹型限位框（10）和第二凹型限位框（57）设置于所述第三凹型限位框（62）和第四凹型限位框（63）的上方；所述废液回收机构（24）包括承接板（25）、第一辅助弹簧（26）、第一阻尼杆（27）、第一固定块（28）、通用型抽水泵控制按钮（29）、通用型抽液泵关闭按钮（30）、第二固定块（58）和触碰杆（31），所述承接板（25）设于所述第一分隔板（5）的下方，所述承接板（25）的底部设有第一阻尼杆（27），所述第一阻尼杆（27）的外壁绕设有第一辅助弹簧（26）；所述第一固定块（28）和第二固定块（58）分别设于所述保护箱体（1）内壁的底部，所述通用型抽水泵控制按钮（29）设于第一固定块（28）的内部，所述通用型抽液泵关闭按钮（30）设于第二固定块（58）的内部；所述触碰杆（31）设置有两组，两组所述触碰杆（31）分别设于所述第一固定块（28）和第二固定块（58）的上方，两组所述触碰杆（31）的一端分别连接于所述承接板（25）的底部；所述液体循环输送机构（60）包括L型输送管（32）、辅助箱体（33）、通用型抽水泵（34）、第二分隔板（35）、通用型抽液泵（36）、通用型输水泵（37）、第一输液管（38）、第二输液管（39）、L型排放管（40）和L型注入管（41），所述辅助箱体（33）于保护箱体（1）的外侧，所述第二分隔板（35）设于辅助箱体（33）的内部，所述通用型输水泵（37）设有两组，所述通用型抽液泵（36）设于两组所述通用型输水泵（37）之间，所述通用型输水泵（37）和通用型抽液泵（36）均设于所述第二分隔板（35）的内部，所述通用型抽水泵（34）设于辅助箱体（33）内腔的底部；所述L型输送管（32）的一端设于所述通用型抽水泵（34）的输入端，所述L型输送管（32）的另一端设于保护箱体（1）的内部；所述L型排放管（40）和L型注入管（41）分别设于辅助箱体（33）的外壁，所述L型排放管（40）和L型注入管（41）的外壁均设有控制阀（42）；所述第一输液管（38）的一端设于通用型抽液泵（36）的输出端，所述第二输液管（39）设于通用型输水泵（37）的输出端；所述通风处理机构（47）包括顶箱（48）、通用型换气泵（49）、L型换气管（50）、过滤板（51）、导向杆（52）、螺纹套（53）、轴承套（54）、第二辅助弹簧（55）、第二阻尼杆（56）、旋转叶（7）、限位板（64）和通气孔（65），所述限位板（64）设于保护箱体（1）的外壁，所述通气孔（65）设于限位板（64）的一侧；所述顶箱（48）设于所述保护箱体（1）的顶部，所述通用型换气泵（49）设于保护箱体（1）的内部，所述L型换气管（50）的一端设于通用型换气泵（49）的输出端，所述L型换气管（50）的另一端连通于通气孔（65）；所述过滤板（51）设于L型换气管（50）的内部，所述过滤板（51）的一侧设有导向杆（52），所述螺纹套（53）设于导向杆（52）的外壁，所述轴承套（54）设于螺纹套（53）的外侧，所述旋转叶（7）设于轴承套（54）的外壁，所述第二阻尼杆（56）设于导向杆（52）的两侧，所述第二辅助弹簧（55）套设于第二阻尼杆（56）的外壁。

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